1. 순수함
티타늄 타겟의 순도는 스퍼터링된 필름의 특성에 큰 영향을 미칩니다. 타겟의 순도가 높을수록 스퍼터링된 필름에 불순물 원소 입자가 적어지고 필름 성능(예: 내식성, 광학적 및 전기적 특성)이 좋아집니다. 실제 응용 분야에서는 다양한 목적에 따른 티타늄 타겟의 순도 요구 사항이 다릅니다. . 예를 들어, 일반 장식 코팅용 타겟의 순도 요구 사항은 까다롭지 않은 반면, 집적 회로, 디스플레이 본체 및 기타 분야용 타겟의 순도 요구 사항은 일반적으로 약 99.999% 이상입니다.
2. 평균 입자 크기
일반적으로 티타늄 타겟은 다결정 구조를 가지며 입자 크기는 미크론에서 밀리미터까지 다양합니다. 미세한 입자 타겟의 스퍼터링 속도는 거친 입자 타겟의 스퍼터링 속도보다 빠릅니다. 스프레이 증착 필름의 두께 분포도 비교적 균일합니다. 집적회로용 티타늄 타겟의 평균 입자 크기는 일반적으로 30μm 이내가 요구되며, 초미세립 티타늄 타겟의 평균 입자 크기는 10μm 미만입니다.
3. 결정 방향
티타늄은 밀집된 육각형 구조를 가지고 있습니다. 스퍼터링 중에 티타늄 타겟 원자는 원자의 육각형 배열 방향을 따라 쉽게 스퍼터링됩니다. 따라서, 최고의 스퍼터링 속도를 달성하기 위해서는 타겟의 결정구조를 변화시켜 스퍼터링 속도를 높이는 것이 가능하다. 스퍼터링 속도. 티타늄 타겟의 결정화 방향은 스퍼터링된 필름층의 두께 균일성에 큰 영향을 미치며 평면 디스플레이 및 장식 코팅의 필름 크기는 상대적으로 두껍기 때문에 해당 티타늄 타겟의 입자 방향에 대한 요구 사항은 다음과 같습니다. 상대적으로 낮습니다.
4. 기하학과 크기
이는 주로 가공 크기, 표면 평탄도, 거칠기 등과 같은 가공 정확도 및 가공 품질에 반영됩니다. 작은 두께는 대상의 서비스 수명에 영향을 미칩니다. 씰링 표면과 씰링 홈이 너무 거칠면 타겟 설치 후 진공 문제가 발생할 수 있습니다. 타겟의 스퍼터링 표면을 거칠게 하면 타겟 표면이 튀어나온 팁으로 가득 차게 될 수 있습니다. 팁 효과의 작용으로 이러한 돌출된 팁의 전위가 크게 증가하여 유전체 방전이 파괴됩니다. 그러나 돌출부가 너무 크면 스퍼터링의 품질과 안정성이 저하됩니다.
우리 회사는 다음과 같은 티타늄 합금을 제공할 수 있습니다.티타늄 알루미늄 스퍼터 타겟그리고티타늄 Ti 스퍼터링 타겟, 다양한 순도와 모양의 티타늄 타겟뿐만 아니라 맞춤형 서비스도 허용합니다. 필요한 경우 이메일로 문의해 주세요.
