티타늄 Ti 스퍼터링 타겟
티타늄 Ti 스퍼터링 타겟 설명
최근 몇 년 동안 우리나라의 집적 회로, 평판 디스플레이, 태양 에너지 및 기타 산업의 급속한 발전으로 스퍼터링 공정에 사용되는 금속 타겟에 대한 수요가 급격히 증가했으며티타늄 Ti 스퍼터링 타겟전자정보소재 분야에서 매우 중요한 기능성 필름입니다. 티타늄은 내식성 및 접착력이 우수하므로티타늄 Ti 스퍼터링 타겟순 티타늄 필름의 스퍼터링 증착 또는 TiN 필름의 반응성 스퍼터링 증착에 자주 사용되며 주로 알루미늄과 상호 연결된 확산 장벽 층으로 사용되며 구리와 상호 연결됩니다 하드 마스크 층, 니켈-백금 화합물 필름 층을 보호하는 캡 층 및 반사 방지층. 당사에서 제공하는 Titanium Ti Sputtering Target은 순도가 99.95%, 99.99%, 99.995%의 고순도 타겟을 생산할 수 있으며 엄격한 품질 검사도 통과하였으므로 안심하고 주문하실 수 있습니다.
티타늄 Ti 스퍼터링 타겟 사양:
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등급 |
1-4 등급 |
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기술 |
소결, 단조, 어닐링, 압연, 진공 용해, 가공 |
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청정 |
99.9퍼센트 -99.995퍼센트 |
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지름 |
<350mm |
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두께 |
1-100mm |
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크기 |
Rectangle (Length 1800mm, Width 400mm Thickness>1mm) 튜브(로터리 타겟, 외경:20mm-160mm, 두께:2-20mm) |
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밀도 |
4.54g/㎤3 |
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표면 |
연마, 광택, 화학 세정, 흑색 산화물 등 |
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모양 |
원판, 판, 직사각형, 정연한 |
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기준 |
ASTM B385, GB |
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인증 |
ISO9001 |
티타늄 Ti 스퍼터링 타겟 사진:
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