티타늄 지르코늄 합금 스퍼터링 타겟
티타늄 지르코늄 합금 스퍼터링 타겟 설명
스퍼터링 타겟 공정은 부식성 증기 및 습기와 같은 매우 가혹한 환경 조건에서도 우수한 내식성을 보장하며 정밀하고 까다로운 응용 요구 사항을 충족하는 박막을 생산하며 강력한 접착력과 강한 광 투과율을 제공합니다. 티타늄은 중량 대비 강도가 매우 높으며 지르코늄은 내식성이 뛰어납니다. 따라서 티타늄 지르코늄 합금 스퍼터링 타겟은 균일한 구조, 우수한 표면 품질, 정확한 크기, 더 나은 필름 형성 성능, 긴 서비스 수명 및 낮은 유지 비용이라는 장점을 가진 우수한 특성을 포함합니다. 티타늄 지르코늄 합금 스퍼터링 타겟은 산업에서 다중 아크 이온 진공 코팅 또는 마그네트론 스퍼터링 PVD에 널리 사용되며 요구 사항에 따라 내마모성 재료, 장식 코팅 또는 기능성 코팅으로 사용할 수 있습니다.
티타늄 지르코늄 합금 스퍼터링 타겟 사양:
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재료 |
Ti10Zr90, Ti15Zr85, Ti30Zr70 등 |
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기술 |
소결, 단조, 어닐링, 롤링, 진공 용해, 가공 |
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지름 |
<400mm |
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두께 |
1-100mm |
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크기 |
Rectangle (Length 1800mm, Width 400mm Thickness>1mm) 튜브 (로터리 타겟, OD:20mm-160mm, 두께:2-20mm) |
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밀도 |
4.7g/㎤3 |
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표면 |
광택, 밝음, 화학 세정, 흑색 산화물 등 |
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모양 |
플레이트, 웨이퍼, 직사각형, 정사각형, 원형, 튜브, 스텝 웨이퍼 및 고객 맞춤형 |
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기준 |
ASTM B385, GB |
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인증 |
ISO9001 |
티타늄 지르코늄 합금 스퍼터링 타겟 사진:


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