개요

지르코늄 표적은 스퍼터링 코팅, 반도체 제조, 광학 코팅, 새로운 에너지 등의 분야에서 널리 사용됩니다. . . . .는 우수한 물리적 및 화학적 안정성, 부식성, 높은 순도 제어 성 및 미래의.의 요구에 대한 적응성에 대한 적용 가능성에 대한 적용 가능성, {1 I}}, .의 .는 . .에 널리 사용됩니다. 나노 코팅 및 양자 장치는 계속 시연 될 것입니다 .

ZR 스퍼터링 대상 특성

좋은 고온 성능

지르코늄의 융점은 1852도 정도 높습니다 . 고온 환경에서 안정적인 물리적 구조를 유지할 수 있으며 녹거나 변형하기 쉽지 않습니다 .

강한 화학적 안정성

지르코늄은 실온에서 다양한 강산, 강한 알칼리 및 해수로부터의 부식에 저항 할 수 있으며, 밀도가 높은 Zro₂ 패시베이션 필름은 추가 부식을 방지하기 위해 표면에 쉽게 형성 될 수있다 ..

우수한 전기 및 광학적 특성

지르코늄은 전기를 전도하고 금속 이온이 확산되는 것을 방지 할 수 있습니다 . 산화 지르코늄 산화 지르코늄은 굴절률이 높으며 광학 코팅을 준비하는 데 사용할 수 있습니다 ..

강력한 스퍼터링 성능

순도는 일반적으로 99 . 5%이상에 도달 할 수 있으며, 단조, 롤링 및 기타 공정을 통해 다양한 모양의 목표물로 만들 수 있으며 다른 스퍼터링 장비에 적합합니다.

지르코늄 표적 차원

등급	Zr702
기술	뜨거운 등방성 압박, 곡물 정제, 소결, 단조, 어닐링
청정	99.95%
두께	3mm -40 mm
지름	50-300 mm
녹는 점	1857 학위
밀도	6.94g/cm³
모양	둥근 디스크
표면	연마, 연삭
인증	ISO9001

애플리케이션

지르코늄 금속 스퍼터 표적은 미세 전자 공학, 반도체 제조 산업 (게이트 전극 및 금속 상호 연결 층의 준비), 항공 우주 산업 (고온 성분 및 구조 재료), 광학 및 광학적 필름 (고품질 광학 필름) 및 지르코늄 금속 스퍼터 표적 ({2}}}.. {2} {2} {2} {2}에서 널리 사용됩니다. 원자로를위한 제어 막대 재료), 의료 분야 (X- 선 튜브의 목표 부분), 기계식 제조 도구 (내성 코팅) 장식 용품 (장식 미적 코팅) 및 기타 산업 .

프로세스

우리 회사는 분말 프레스, 고온 용광로 용광로, 곰팡이 붕괴, 반복 롤링, 표면 연마 처리, 엄격한 품질 관리 및 기타 프로세스를 통해 고순도 지르코늄 목표를 생산합니다. . 목표의 순도와 균일 성은 첨단 기술 응용 프로그램의 요구 사항과 일치합니다.

1. 분말 야금 (일반적인 과정)
분말 : 스폰지 지르코늄은 기계적 분쇄, 수소화-이수 형성 (HDH) 및 기타 방법 .에 의해 지르코늄 분말로 만들어집니다.

프레스 : 대상 블랭크는 콜드 등방성 프레스 또는 압축 성형에 의해 얻어집니다 .

소결 : 밀도를 개선하기 위해 진공 또는 비활성 대기에서 고온 소결 .

2. 용융 및 주조 방법 (대형 대상에 적용 가능)
진공 아크 용융 : 스폰지 지르코늄 또는 지르코늄 블록은 진공 아크로에서 녹아 가스 불순물을 제거하고 잉곳으로 캐스팅됩니다 .

단조 및 롤링 : 잉곳은 곡물 방향을 향상시키고 원하는 모양으로 처리하기 위해 뜨거운 단조 및 차가운 롤입니다. .

3. 가공 및 표면 처리

지정된 크기로 자르면 표면이 접지되고 연마되어 거칠기를 줄이고 스퍼터링 균일 성 .에 영향을 미치는 표면 결함을 피하십시오.

4. 포괄적 인 품질 검사 및 포장

지르코늄에 의해 스퍼터링 된 필름 Z702 스퍼터 대상은 다음 범주로 나눌 수 있습니다.

1. 지르코늄 질화물 (ZRN)

색상 : 황금색

형성 메커니즘 : 지르코늄 표적은 질소 환경에서 스퍼터링되어 질화 지르코늄 (ZRN) 코팅 . ZRN의 황금색은 주로 결정 구조의 빛 반사 특성 .에서 비롯됩니다.

적용 : ZRN 코팅은 높은 경도, 내마모성 및 부식 저항의 특성을 가지며 장식 코팅, 절단 도구 및 금형 .에 종종 사용됩니다.

2. 지르코늄 카보 이트리드 (ZRCN)

색상 : 깊은 검은 색

형성 메커니즘 : 질소와 메탄의 혼합 된 대기에서 스퍼터링 지르코늄 표적을 스파이터링하여 카보 니트화물 (ZRCN) 코팅을 생성하기 위해 . 탄소 함량을 증가시키는 동시에 코팅 색상을 짙은 검은 색으로 바꾸면 경도와 손을 내 손길을 향상시킵니다. .

응용 : ZRCN 코팅은 고성능 절단 도구 및 내마모성 기계 부품에 사용되며 탁월한 마모 및 부식 저항을 제공합니다 .

3. 지르코늄 산화물 (Zro₂)

색상 : 투명하거나 흰색

형성 메커니즘 : PVD 코팅은 산소 환경에서 지르코늄 산화 지르코늄 (Zro₂) 코팅을 형성하기 위해 수행됩니다. . Zro₂는 우수한 열 안정성 및 전기 절연 특성을 갖습니다 ..

응용 프로그램 : Zroating 코팅은 고온 환경, 전자 장치 및 의료 세라믹에서 널리 사용됩니다 .

영화

High Purity Zirconium Targets

Metal Sputtering Targets

동영상

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사례

지르코늄 702 둥근 스퍼터링 대상, 네덜란드의 지르코늄 목표

1 월 초, 우리는 Target Products . 네덜란드 고객과의 협력에서 획기적인 발전을 달성했습니다 . 네덜란드 고객은 이전에 Tungsten 및 Molybdenum 제품을 주문했으며 제품 품질 및 서비스 태도에 매우 익숙했습니다 . 우리는 지르코늄 스퍼터링 대상의 공급 업체로서 매우 행복하고 영광입니다. 금속 목표의 판매 및 생산 및 생산 및 ISO9001 품질 인증을 얻었으며, 높은 수준의 품질 관리를 유지하기 위해 노력하고 . 우리 회사가 생산 한 지르코늄 목표는 분말 압박, 고온 용광로 제련, 곰팡이 캐스팅, 반복적 인 롤링, 표면 연마 및 엄격한 품질 제어를 겪고, 순도 및 균일 한 요구를 충족시킵니다. 응용 프로그램 .

자격

ISO9001

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