투명 도전막의 발달로 ITO를 대체할 수 있는 AZO(Al2O3-ZnO) 타겟이 널리 사용되고 있다. AZO 투명전도막은 밴드갭이 3.4eV, 고유흡수한계가 360nm로 박막전지의 윈도우층 소재로 활용될 수 있다.