구리 백킹 플레이트

구리 백킹 플레이트 설명

스퍼터링은 박막재료를 제조하는 주요 기술 중 하나이며, 스퍼터링 공정에서 베이스 플레이트는 스퍼터링 타겟을 지지하고 스퍼터링 장치에 고정시키는 역할을 하며, 스퍼터링 공정에서 발생하는 열을 방산시키는 역할을 하는 핵심 부품입니다. . 역할. 이 판은 일반적으로 구리, 구리 합금, 스테인레스 스틸, 몰리브덴 또는 텅스텐으로 만들어집니다. 구리 백킹 플레이트는 높은 전기 전도성, 우수한 열 전도성 및 방열 성능, 최고의 기계적 안정성, 우수한 가공 성능, 우수한 기계적 강도, 고온 저항, 용이한 용접, 내구성 및 기타 우수한 특성을 갖추고 있어 과열의 영향을 피할 수 있습니다. 스퍼터링 공정의 안정적이고 고속 작동에 문제가 있습니다. 구리 백킹 플레이트는 반도체, 디스플레이 장치, 센서 및 기타 회로 장치 생산을 위한 박막 스퍼터 증착 분야에서 가장 일반적으로 사용됩니다.

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