고순도 텅스텐 보트

개요

고순도 텅스텐 보트는 높은 융점, 뛰어난 순도, 탁월한 전기 및 열 전도성, 고온 및 부식에 대한 저항성을 갖추고 있어 산업 분야에서 없어서는 안 될 부품이 되었습니다.진공 코팅및 고온-온도 공정. 전자, 국방, 장식 마감재, 반도체 및 재료 준비를 포함한 여러 산업 전반에 걸쳐 광범위하게 적용됩니다.

순수 텅스텐 보트 사양

텅스텐의 특성

1. 높은 융점(3410도), 고온-산화에 대한 저항성;

2. 고밀도, 조밀한 구조;

3. 강한 화학적 안정성, 강산 및 알칼리(불산 제외)에 대한 내성; 4. 열팽창 계수가 낮고 열 및 전기 전도성이 우수합니다.

5. 탄탈륨 보트에 비해 텅스텐 보트는 비용이 더 저렴하고 기계적 강도가 더 높기 때문에 비용 효율성과 성능 사이에서 균형 잡힌 선택을 나타냅니다.-

6. 불순물 함량이 매우 낮고 순도가 높으며(일반적으로 99.95%-99.99%), 반도체 및 항공우주와 같은 고급 응용 분야에 적합합니다.

1. 높은 증발 효율: 금속/합금 재료의 진공 증발 코팅에 적합합니다.

2. 우수한 성형성: 다양한 치수, 두께 및 모양에 맞게 맞춤화 가능;

3. 수명 연장: 정상적인 작동 조건에서 수백 번 재사용 가능;

4. 강력한 호환성: 진공 코팅 기계 및 전자빔 증발 시스템을 포함한 주류 ​​산업 장비와 호환됩니다.

5. 환경 친화적이고 무독성입니다.-휘발성 유해 물질이 포함되어 있지 않으며 산업 환경 표준을 준수합니다.

텅스텐 보트 비디오

고순도 텅스텐 보트 응용

1. 진공증착

• 진공 환경 내에서 전류는 증발을 위해 텅스텐 보트를 통과하여 2000도 이하로 가열됩니다. 이 공정은 오목한 부분에 놓인 저-융점-금속(알루미늄, 금, 은 등)을 가열하고 증발시킵니다. 생성된 금속 증기는 기판 표면에 응축되어 균일한 얇은 필름을 형성합니다.
• 텅스텐 보트는 디스플레이 코팅, 정밀 광학 렌즈의 반사층, 장식품의 초-내마모-장식 필름, 진공-증착 포장재 및 커패시터용 금속 코팅에 사용됩니다.

2. 고온-처리

• 텅스텐 보트 열 증발은 내화성 금속의 소결 및 고온 어닐링을 촉진할 뿐만 아니라 로켓 엔진, 노즐, 우주선 라디에이터와 같은 고온 부품의 제조도 -쉽게 수행합니다.

3. 반도체 산업

• 증발용 텅스텐 보트는 화학 기상 증착(CVD) 및 물리 기상 증착(PVD)을 포함한 반도체 웨이퍼 제조 공정에 사용됩니다. 이는 실리콘 웨이퍼의 불순물 오염을 방지하여 반도체 장치의 안정적인 전기적 성능을 보장합니다.

4. 과학적 연구

• 원자 흡수 분광계의 샘플 보트로 사용되며 새로운 실험실 재료(예: 초전도 필름)의 열 증발 준비를 위해 사용되어 연구 실험 데이터의 재현성과 정확성을 보장합니다.

텅스텐 증발 보트의 유형

I. 모양과 구조별

• V-자형: V-자형-단면과 좁은 베이스가 특징으로 탁월한 흐름 안내와 균일한 증발을 제공합니다. 진공 코팅용 표준 모델로 중소{4}}증착 재료에 적합합니다.
• U-자형(원형-하단): 볼륨 증가와 안정성 향상을 위해 곡선형 베이스가 특징이며 대량의 재료 또는 고-융점-금속의 일괄 증발에 적합합니다.
• 나비-형(날개형-형): '날개-모양' 프로파일을 형성하는 위쪽-곡선 측면이 특징으로 더 넓은 증발 면적과 우수한 코팅 균일성을 제공하여 넓은 면적의 기판 코팅에 이상적입니다.{4}}
• 평평한-바닥: 최적의 배치 안정성을 위한 평평한 베이스가 특징이며 주로 높은 위치 정확도를 요구하는 대형 기판이나 프로세스에 사용됩니다.
• 계단식: 클램핑 영역과 본체 사이에 계단식 구조를 통합하고 가장자리가 접혀 있어 장비를 안전하게 고정하는 동시에 재료 유출을 방지하고 구조적 강성을 향상시킵니다.
• 맞춤형 모양: 클라이언트 장비 및 프로세스 요구 사항(예: 홈, 돌출부, 특수 치수)에 따라 설계되었으며 틈새 또는 정밀 응용 분야에 적합합니다.

II. 제조공정별

• 스탬핑 유형: 고온-스탬핑을 통해 형성되어 생산 효율성이 높고 비용이 저렴하며 표준화된 배치 공급에 적합합니다.
• 접힌 유형: 텅스텐 시트를 구부려 제조되어 특수한 치수 요구 사항에 신속하게 적응할 수 있는 유연한 구조를 제공합니다.
• 용접/리벳 유형: 용접 또는 리벳팅을 통해 여러 개의 텅스텐 시트를 조립하여 구성되므로 복잡한 형상이 가능하지만 공정 비용이 더 높습니다.

고순도 텅스텐 보트 사진

기타 증발원

증발 소스는 박막 증착 시 열 증발을 위한 재료(금속, 세라믹, 유기물)를 담는 용기 또는 구조물(예: 보트, 필라멘트, 도가니, 바구니)입니다.{2}} 가열되면 고체 물질이 증기로 변하여 기판을 코팅합니다. 일반적인 재료로는 텅스텐, 탄탈륨, 흑연 등이 있으며, 전자 및 광학용 균일한 필름을 생성하는 데 적합한 고순도 및 적절한 증기압을 위해 선택되었습니다.

텅스텐 보트 도가니

티타늄 도가니

텅스텐 필라멘트

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